MEMS是此领域中较新的应用技术，经过近几年的发展，MEMS Chip的生产工艺已经趋于成熟，有力地推动了MEMS VOA的应用。在光网络中应用，以MEMS技术为基础的产品也具有明显的价格和性能上的优势。MEMS VOA有反射式VOA和衍射式VOA。我司自主研发生产的MEMS VOA 具有高性能，低插损等优点。
反射式VOA的工作原理：它是在硅基上制作一块微反射镜。以unblocking型VOA为例。光经过双光纤准直器的一端进入，以一定角度入射到微反射镜上，当施加电压时，微反射镜在静电作用下被扭转，倾角改变，入射光的入射角度发生改变，光反射后能量不能完全耦合进双芯准直器的另一端，达到调节光强的目的；而未加电压时，微反射镜呈水平状态，光反射后能量完全耦合进双芯准直器的另一端。
